半導體管道施工及操作要點

　　半導體技術涉及易燃、有毒和腐蝕性氣體，是制造精密半導體電子元件和新能源光電產品必不可少的重要原料。生產中的氣體泄漏會造成非常嚴重的產品質量事故和人身傷害。為了確保安全，當管道施工時，對工作環(huán)境的清潔度、管道內外管道的清潔度以及焊接安裝質量有很高的要求。

　　半導體管道施工要點

　　1.管道加工

　　管口的加工是施工技術的關鍵之一。管道切割和預制均在清潔的環(huán)境中進行，同時確保切割前管道表面無痕跡和損傷。打開管道前，應做好管道氮氣沖洗的準備工作。拆除兩層塑料外包裝后，應輕拆管道兩端的塑料密封套，并立即充氮氣，防止空氣污染。在管道切割過程中，使用特殊的不銹鋼刀具緩慢切割，純氮氣沿介質的下游方向沖洗，以防止碎屑進入管道。

　　切割后，端面用平口機處理以去除毛刺。在處理過程中，高純氮氣用于吹掃。切割和端面處理后，可以用沾有異丙醇的干凈布將管道擦拭干凈。干凈的布應該是一次性的，不能重復使用。

　　2、自動焊接

　　為了加強焊接質量管理，追溯產品質量，焊工每天正式實施焊接工作前，必須制作焊接規(guī)范樣品，檢查焊接工藝水平。只有保證焊接質量合格后，才能進行正式焊接操作。

　　每天焊接結束前，還應制作焊接樣品。所有焊接樣品應妥善保存，焊接記錄應作為質量檢驗和歸檔的依據。半成品和成品的保護措施應及時有效。焊接完成后，管道兩端應及時密封，并存放在干凈的保護區(qū)。焊接時，應進行內外高純氬氣保護。建議純度不低于99.999%，氬氣流量應由WPK自動控制。焊接完成后，用鋼絲刷刷掉焊接區(qū)外表面的氧化膜，并用百潔布打磨表面。

　　3、管道及配件和設備連接安裝

　　對于輸送易燃、劇毒特殊氣體的雙層管道，與閥門、氣表和設備的連接應安裝世偉洛克金屬墊片端面密封接頭(VCR)，金屬墊片應為柔性鎳合金墊片，以確保密封緊密。在系統(tǒng)建成后的運行過程中，對確保人員安全和產品質量起到了很好的基礎性保障作用。