閥門分配箱的設計

　　閥門分配箱主要用于氣體分配，這里主要介紹下閥門分配箱的應用等相關知識。

　　閥門分配箱應用

　　閥門分配箱(VMB)多用于特種氣體的輸送中。在半導體、光伏太陽能、IC芯片等生產領域，VMB廣泛的應用于諸如磷烷、硼烷、硅烷、硫化氫、硫化氫、乙烯等易燃易爆、毒腐性氣體的分配當中。

　　閥門分配箱發(fā)展

　　近幾年來，智研數(shù)據研究中心隨著我國超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場需求量明顯增長，電子特種氣體的國產化已是大勢所趨。據了解，我國在國產化方面取得可喜進展：國產高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局，高純四氟化碳“有價無貨”時代也宣告結束，高純氯化氫已成功打開國內市場。所以，閥門分配系統(tǒng)的應用會越來越廣泛。

　　關鍵詞：

　　VMB，特氣系統(tǒng)，分配控制。

　　VMB閥門分配箱設計參考：

　　特氣VMB應設計進氣管路隔離閥及壓力指示裝置;氣體之路應設有獨立的壓力控制調節(jié)閥、過濾器、過流開關;氣體的支路應設有獨立的出口隔離閥;氣體分支路應設置獨立的吹掃氣體裝置、輔助抽真空裝置等。

　　惰性氣體方面，應設置進氣管路隔離閥及壓力指示裝置;氣體之路應設有獨立的壓力控制調節(jié)閥、過濾器;氣體支路應設有獨立出口隔離閥門。

　　閥門分配箱應用領域

　　電子氣體，尤其是帶有危險性的特殊氣體，是發(fā)展集成電路、光電子、微電子，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導體發(fā)光器件和半導體材料制造過程中不可缺少的基礎性支撐源材料，它被稱為電子工業(yè)的“血液”和“糧食”，它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性。VMB的引入是特氣一對多，點對面分支的核心單元。不但保證了多點用氣，也最大限度的保證了用氣安全。