實驗室高純供氣系統作用及管路設計安裝

　　實驗室供氣系統

　　實驗室供氣系統雖然投資份額相對較小，但對實驗環(huán)境的安全性有重要影響。

　　1、氣瓶必須采取專業(yè)通風、防爆措施;

　　2.氣路系統應配備泄漏報警、緊急切斷和強排風等。

　　3.為了保證氣體的純度和氣壓的穩(wěn)定性，必須進行多級減壓供氣，并提供氣路吹掃和排空等設施。氣體泄漏檢測方法

　　實驗室供氣系統作用

　　滿足不同實驗的要求和安全性。采用匯流排供氣設備對雙瓶進行手動、半自動和全自動切換功能，配有低壓報警裝置實時監(jiān)控氣體壓力、濃度檢測報警和排氣，確?？蛻粽Ｓ脷夂蜕敭a安全。

　　高純氣體管道設計要點

　　1.對于具有不同特性的氣體，應規(guī)劃單獨的供應區(qū)域，通常分為三個區(qū)域:腐蝕性/毒性氣體區(qū)域、易燃性氣體區(qū)域和惰性氣體區(qū)域。應集中和加強對氣體具有相同特點的管理。易燃性氣體區(qū)域應特別規(guī)劃防爆墻和泄漏口。如果空間不足，可以考慮惰性氣體區(qū)域和有毒/腐蝕性氣體區(qū)域。

　　2.管道設計需要考慮輸送距離。距離越長，成本越高，風險也越高。一般來說，更合理的設計流量為20毫升/秒，可燃性氣體小于10毫升/秒，毒性/腐蝕性氣體小于8毫升/秒。在劑量設計方面，需要考慮使用點的壓力和管徑。前者與氣體特性有關，而后者使用時的管徑一般為1/4 "~ 3/8 "。

　　3.根據用氣設備的分布情況，高純度氣體管網不應過大或過長;建議采用未封閉的環(huán)形管道，并在系統末端連續(xù)排放少量氣體以便高純度氣體始終在管網中循環(huán)，不會出現“死區(qū)”造成的高純度氣體污染。

　　4.管道中不流動的“死區(qū)”氣體應減少。不應提供盲管。應在專用氣體儲氣瓶和氣體設備之間設置吹掃控制裝置、多閥控制裝置、各閥的開關順序和系統吹掃，以確保供氣系統的安全可靠運行，并防止形成“死區(qū)”以保留污染物并降低氣體的純度。

　　5.對于對高純度氣體純度有不同要求的用氣設備，應采用分級高純度氣體輸送系統。也可以使用相同等級的輸送系統，但是在具有高純度要求的氣體設備附近設置了終端氣體凈化裝置。

　　6.為了檢測高純度的純度和雜質含量氣體，輸送系統應配備必要的連續(xù)檢測儀器，如測量水含量或氧雜質含量的分析儀，還應配備定期取樣的檢測取樣口，以便按規(guī)定時間取樣，并分析高純度的各種雜質含量氣體。

　　7.在亞微米集成電路生產中，需要提供10-9級高純度氣體。為了確保終端氣體處理設備中氣體的純度，并將氣體中的雜質含量(包括灰塵顆粒)控制在規(guī)定值內，通常在設備前面安裝終端凈化裝置或終端高精度氣體過濾器。

　　實驗室高純氣路的安裝要求

　　1.所有氣體管道由高質量、完全退火的無縫不銹鋼管(BA級)組成。銅管僅用于氣體管道末端，對氣體的純度要求不太嚴格。(例如通風櫥)。

　　2、氣體安裝管道不得敷設電纜和導線。

　　3.易燃氣體，如乙炔需要與其他氣體分開引入。如果氫氣管道與其他可燃氣體管道平行敷設，其間距不得小于0.5M交叉敷設時間間隔不小于0.25米，分層敷設時氫氣管道應位于上方。

　　4.壓縮空氣有凈化裝置，用于過濾管道上的雜質和水分。凈化裝置需要并聯連接，并通過單獨的閥門分開，以便于過濾裝置的維護。

　　5.高純度氣體管道的連接采用無縫焊接。接頭配件只能在連接到閥門或調節(jié)裝置時使用。

　　6、每個實驗室應有單獨的控制閥、減壓閥和壓力表。

　　7.通向工作臺的氣體管道應安裝單獨的控制閥。各種氣體控制閥應均勻排放在工作臺上。建議在氦氣管道前安裝氣體凈化裝置。

　　8.每1.5m左右，氣體管道需要支撐。此外，根據氣體管道的彎曲半徑，設置適當的支架位置。必須支持所有彎曲。氣體管道安裝管道的所有支架均應鍍鋅防腐處理。